Positioning Stage

クリーンルーム内での使用は可能でしょうか？

潤滑剤をクリングリス（NSK製LG2）に交換することで、発塵量を抑えることが出来ます。標準ステージ型式の後に「-C」を付けることでクリングリス仕様のステージをご発注頂くことが可能です。
注) クリングリスはクリーン度を保証するものではありません。