Average of actual measurement value  
No. 1  Motorized X Stages   Average of actual measurement value PDFダウンロード
No. 2  Motorized Vertical Linear Stages   Average of actual measurement value PDFダウンロード
No. 3   Motorized Rotation Stages   Average of actual measurement value PDFダウンロード
No. 4  Motorized Swivel (Tilt) Stages   Average of actual measurement value PDFダウンロード
No. 5  Motorized XYθ Stages   Average of actual measurement value PDFダウンロード